ams OSRAMとAIXTRON社、ams OSRAMがマイクロLED向け200mmウェハプロセスにAIXTRON社のAIXTRON G5+ CおよびG10-AsPシステムを認定したことを発表

光学ソリューションのグローバルリーダーであるams OSRAMと、半導体業界向け成膜装置の大手プロバイダーであるAIXTRON Sは、ams OSRAMがマイクロLED向け200mmウェハプロセスにAIXTRON AIX G5+ CおよびG10-AsP MOCVDシステムを認定したことを発表しました。
　　　　　　
AIXTRON SEのMOCVD（有機金属気相成長法）システムであるAIX G5+ Cと、新しいG10-AsPは、プラネタリーテクノロジーにより次世代の高解像度マイクロLEDディスプレイの道を切り拓きます。ams OSRAMは2022年春に、マレーシアの既存拠点でLEDとマイクロLEDを製造する200mmウェハプロセス用ラインを拡大する計画を発表していました。これらのAIXTRON SEのMOCVDシステムは、新世代のディスプレイ用のマイクロLEDの量産に貢献することが期待されています。
　　　　　　
ams OSRAMエグゼクティブバイスプレジデント兼オプトセミコンダクターズ事業部長であるロバート・ヒュール（Robert Feurle）は次のように述べています。
「AIXTRONとams OSRAMは長年にわたる協力関係にあり、我々はAIXTRON社の装置の性能と品質基準について熟知しています。AsP系LEDおよびGaN系LEDを使用するマイクロLEDの開発・生産のような大規模プロジェクトには、まさに同社のようなパートナーが必要でした」
　　　　　　
AIXTRON SEのCEO兼社長であるFelix Grawert博士は、次のように付け加えています。
「ams OSRAMによるG10-AsPとAIX G5+ Cの認定は、当社の歴史において非常に画期的な出来事です。ams OSRAMは世界一流のLEDメーカーであり、今後市場に投入される新しい基盤技術を実現するにふさわしい企業です。私たちは現在、従来のディスプレイ技術から、新しいタイプのマイクロLEDディスプレイへの技術シフトの過渡期に立っています。そして今AIXTRONは、完璧なパートナーと共に、膨大な可能性を秘めた将来の成長市場の1つに参入しています」
　　　　　　
マイクロLED技術は、これまでにない高画素密度、長寿命、高輝度、高速スイッチング、広色域など、ディスプレイ技術に非常に大きな利点をもたらします。また、消費電力が他のディスプレイ技術と比較して小さいことも重要な利点であることから、バッテリー搭載スペースが非常に限られた次世代の小型ディスプレイ搭載機器において、マイクロLED技術は理想的です。
　　　　　　
マイクロLEDの生産には特別な要件があります。製造工程では、1辺が数十マイクロメートルサイズの何千ものLEDチップ（アレイ）をピックアップして別の基板に移送する、特殊なトランスファープロセスが必要とされます。また、1個でもLEDの個体に不具合があると、ディスプレイのドット抜けが発生するため、アレイ全体が使用できなくなる可能性があります。このため、欠陥を最小限に抑え、高歩留まりかつ低コストで実現可能なマイクロLEDの製造を可能にするエピタキシャル結晶成長工程が必要となります。
　　　　　　
AIXTRONの新しいG10-AsPエピタキシャル成長装置は、このアプリケーションにおけるこの特殊なニーズに対応するべく設計されています。これは、完全自動化されたカセット間ウェハ搬送機構と、in-situエッチングによるクリーニング機構を備えた、世界初の完全自動化AsP系化合物半導体成膜装置です。この2つの機能は、歩留まりに大きな影響を与えます。さらにAIXTRONシステムは、バッチ処理技術の優位性により、現在市場にある装置の中では最も安いウェハ1枚あたりの製造コストと、クリーンルームで最も高い処理能力を実現します。同時に、この新しい装置は、高精度の流量および温度制御機能を備えており、最高の材料均一性を実現することができます。

・AIXTRON社について
AIXTRON SEは半導体業界向け成膜装置の大手プロバイダーです。同社は1983年に創業し、ドイツのヘルツォーゲンラート(アーヘン近郊)に本社を、アジア、アメリカ合衆国やヨーロッパに子会社および販売拠点を設置しています。AIXTRON社のテクノロジーソリューションは、化合物半導体材料をベースにした電子・光学機器用の高度なコンポーネントの製造を目的として、世界中のさまざまな分野のお客様に利用されています。このようなコンポーネントは、広範囲の革新的なアプリケーション、技術、業界で使用されています。これには、レーザーおよびLEDアプリケーション、ディスプレイ技術、データ伝送、SiCおよびGaNを使用したパワーマネジメント・変換、通信、信号および照明技術、そして、その他さまざまな最先端アプリケーションなどが含まれます。
www.aixtron.com/
　　　　　
ams OSRAMグループ
https://ams-osram.com/